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    電子裝備產業

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    依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
    •  立式擴散爐

    立式擴散爐

    主要應用于高溫擴散、氧化、退火等工藝

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